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专利号:200810093344
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曝光装置以及激光控制部用电路板

本发明提供一种即使不设置校准传感器,也能够将激光的光量调整到规定值的曝光装置。上述曝光装置具有激光控制部,该激光控制部由能够独立交换的电路板构成,并接收来自全面控制整个装置的动作的主控制部的控制,控制从发出激光的激光发光部发出的激光,其中,用于调整因电路板的电路误差而引起的控制因素的偏差的误差调整信息存储在激光控制部所具有的存储器中,该误差调整信息是指,针对电路板在搭载到曝光装置之前预先取得的信息。激光控制部在从主控制部接到使以规定的光量发出激光的控制指示时,基于存储在存储器中的误差调整信息,决定激光的发光条件,并按照发光条件使激光发光部发出激光。

曝光装置以及激光控制部用电路板

一种曝光装置,用激光对被曝光体进行曝光,其特征在于,具有:    主控制部,其全面控制整个装置的动作;    激光发光部,其发出激光;    激光控制部,其由能够独立交换的电路板构成,并接收来自上述主控制部的控制指示,控制上述激光发光部发出激光,其中,    用于调整因上述电路板的电路误差而引起的控制因素的偏差的误差调整信息存储在上述激光控制部所具有的存储器中,该误差调整信息是指,针对上述电路板在搭载到上述曝光装置之前预先取得的信息,    上述激光控制部在从主控制部接收到使以规定的光量发出激光的控制指示时,基于存储在上述存储器中的上述误差调整信息,决定激光的发光条件,并使上述激光发光部按照上述发光条件发出激光。
 


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专利号: 200810093344
申请日: 2008年4月18日
公开/公告日: 2008年10月22日
授权公告日:
申请人/专利权人: 大日本网目版制造株式会社
国家/省市: 日本(JP)
邮编:
发明/设计人: 滨岸俊光、藤本守
代理人: 马少东 徐恕
专利代理机构: 隆天国际专利商标代理有限公司(72003)
专利代理机构地址: 香港干诺道中168-200号信德中心西翼15楼1512室()
专利类型: 发明
公开号: 101289025
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 日本2007年4月20日2007-111495
审批历史:
附图数: 4
页数: 12
权利要求项数: 2
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